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演讲嘉宾

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传感器与MEMS国际会议组委会
联系人:黄女士
电话:18964516109    021-35310852

爱发科-Koukou Suu​

 姓名:Koukou Suu

国别:日本

 机构:ULVAC,Inc

 职位:执行役员/资深研究员


讲嘉宾简历:


1993年入职日本真空技术株式会社(现在的日本爱发科株式会社)。从事于开发新型不挥发性存储器。高诱电体,LED,薄膜电池,3D封装技术等多项半导体以及电子器件的量产技术。2008-2014年,任公司半导体电子技术研究所所长一职。2014-2019年,任公司国际市场技术战略室长兼任资深研究员。 2019年,任爱发科集团执行役员兼爱发科美国公司首席执行官。



演讲题目:应用于IoT / IoE压电材料的薄膜加工技术

摘 要现在,薄膜功能材料,如压电材料PbZzTiO3、AlN、ScAlN)或者金属绝缘转变材料VOx)已被用于先进的MEMS传感器与RF器件FBAR / BAW)面向实现物联网解决方案。

在本次演讲中,我们将报告:新型溅射工艺用于高性能CMOS兼容技术的PZT薄膜技术的开发成果。


现在,薄膜功能材料,如压电材料(PbZzTiO3、AlN、ScAlN)或者金属绝缘转变材料(VOx)已被用于先进的MEMS传感器与RF器件(FBAR / BAW)面向实现物联网解决方案。在发表内容中,我们将报告压电薄膜和金属绝缘体转变薄膜技术的发展成果,包括溅射、等离子体刻蚀以及MEMS/传感器和RF器件的制造工艺。

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