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演讲嘉宾

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传感器与MEMS国际会议组委会
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矽睿-Cenk Acar

                    

                                                                 姓名:Cenk Acar
                                                 

                                                                      国别:土耳其

                                                            机构:上海矽睿科技有限公司

                                                                      职位研发工程总监

演讲嘉宾简历:


Cenk Acar博士在土耳其博加济奇大学获得机械工程学士学位。2004年,他在加州大学欧文分校获得机械和航空航天工程博士学位。完成研究生工作后,他加入施耐德电气(Schneider Electric)的Systron Donner Automotive担任硅MEMS项目经理,领导下一代微机械惯性传感器产品线的研发工作。2009年,他与人共同创立了Jyve公司,并为消费电子产品开发了高性能惯性传感器,担任MEMS设计副总裁。自2010年Fairchild Semiconductor收购Jyve 公司,并随后于2018年被Qst Solutions收购以来,他一直担任mems设计高级总监,领导MEMS设计团队。

他是《MEMS振动陀螺仪》一书的作者,同时也是20多篇MEMS惯性传感器的期刊和国际会议出版物的第一作者。他目前拥有30多项美国和国际专利。他曾在主要国际MEMS会议的组织和技术委员会任职,也是主要MEMS期刊的评论员。


演讲题目:

惯性传感单元技术


摘 要:


基于硅通孔技术的QST六轴MEMS惯性传感器

QST六轴惯性传感器将三轴陀螺仪和三轴加速度计结合在一个MEMS芯片上。该MEMS器件在业界第一个采用了硅通孔(TSV)技术,将厚单晶硅可动结构层真空键合在TSV层和盖板层之间。由于60微米厚的器件层,QST IMU具有更高的信号和更低的噪声,更好的抗冲击和抗粘附性能。由于采用了嵌入TSV,芯片级封装(CSP)成为可能,比其他惯性传感器技术具有更强的缩减尺寸潜力。QST MEMS独特的制造工艺实现了双气压腔和优越的单质量块陀螺仪/加速度计设计,在提高可靠性、减小MEMS传感元件的尺寸和成本的同时,在消费类产品里实现了最低的噪声。


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